Добро пожаловать в клуб

Показать / Спрятать  Домой  Новости Статьи Файлы Форум Web ссылки F.A.Q. Логобург    Показать / Спрятать

       
Поиск   
Главное меню
ДомойНовостиСтатьиПостановка звуковФайлыКнижный мирФорумСловарьРассылкаКаталог ссылокРейтинг пользователейЧаВо(FAQ)КонкурсWeb магазинКарта сайта

Поздравляем!
Поздравляем нового Логобуржца Asia со вступлением в клуб!

Реклама

КНИЖНЫЙ МИР

Физико-химические основы технологии микроэлектроники   Чистяков Ю., Райнова Ю.

Физико-химические основы технологии микроэлектроники

84x108/32 408 страниц. 1979 год.
Металлургия
Учебное пособие предназначено для студентов вузов, изучаю­щих технологию микроэлектроники, а также конструирование и тех­нологию радиотехнических микроэлектронных устройств. На основе современных представлений классифицированы физи­ко-химические процессы технологии микроэлектроники. Особое вни­мание уделено трем классам процессов: нарастанию и удалению вещества, перераспределению атомов (ионов) примесей между внеш­ней средой и подложкой. Изложены физико-химические основы про­цессов эпитаксии и получения тонких пленок, сварки и пайки, ме­ханической обработки, очистки поверхности материалов, а также легирования, модифицирования и фотолитографии. Рассмотрены ме­ханизмы действия электрических полей и излучений на технологи­ческие процессы. Сформулированы критерии, определяющие физико-химический характер протекания различных процессов и качество получаемых изделий.
 
- Генерация страницы: 0.04 секунд -