Добро пожаловать в клуб

Показать / Спрятать  Домой  Новости Статьи Файлы Форум Web ссылки F.A.Q. Логобург    Показать / Спрятать

       
Поиск   
Главное меню
ДомойНовостиСтатьиПостановка звуковФайлыКнижный мирФорумСловарьРассылкаКаталог ссылокРейтинг пользователейЧаВо(FAQ)КонкурсWeb магазинКарта сайта

Поздравляем!
Поздравляем нового Логобуржца lena64410 со вступлением в клуб!

Реклама

КНИЖНЫЙ МИР

Полупроводниковые тензочувствительные элементы датчиков давлений   Илья Баринов

Полупроводниковые тензочувствительные элементы датчиков давлений

188 страниц. 2012 год.
LAP Lambert Academic Publishing
Давление является одной из основных величин, связанных с описанием жидких и газообразных сред. Большое разнообразие систем, в том числе и датчиковой аппаратуры, для измерения давлений объясняется тем, что понятие «давление» охватывает протяженную область значений – от сверхвысокого вакуума до сверхвысоких избыточных давлений. В данной работе рассматриваются основы проектирования, разработки, а также технологические аспекты изготовления полупроводниковых тензочувствительных элементов датчиков давлений, в частности, представлены общие вопросы измерения давления, тензоэффекта, принципы проектирования, разработки топологии, термокомпенсации полупроводниковых тензочувствительных элементов, а также рассмотрены основные технологические операции и методы их изготовления: химическая обработка пластин, окисление, диффузия, травление и др.
 
- Генерация страницы: 0.04 секунд -